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On-board IS 低温泵顶部横幅

优质的真空性能和能效

分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件,以保持优异的全系统真空性能,从而实现出色的流程一致性。在当今可用的任何低温泵系统中,On-Board IS 低温泵的正常运行时间更长、生产率更佳且总拥有成本更低,该产品由 Edwards 响应敏捷的全球服务和支持网络提供支持。

 

主要特点

  • 分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件
  • 保持优质的全系统真空性能,提供出色的流程一致性
  • 无论是单泵还是多泵配置,再生速度都很快
  • 能源和冷却水消耗低,却不牺牲真空性能
  • 易于实现系统集成
  • 快速完成生产安装
  • 增强的远程监测功能,可进行预防性和预测性维护
 

  • IS 320FX 低温泵
  • IS XP
IS 320FX 低温泵

On-Board® IS 320FX 低温泵,专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发,可提高氢气抽送速度和容量,同时还能保持您对该低温泵所期待的质量、性能和可靠性优势。 

  • 专为离子注入应用而设计
  • 针对低温设备的处理能力进行了优化
  • 智能的“自我调节”技术
  • 更低拥有成本
  • 延长了正常运行时间

 

IS XP

On-Board® IS XP 低温泵为 PVD 应用提供了更大的抽气容量,以实现出色的生产率,同时保持流程透明性。此外,它还充分利用了 On-Board® IS 久经考验的能效、一致的性能和低拥有成本,这正是您对它的期望。 

  • 该泵提供容量冗余,以用于将来的流程改进
  • 更低拥有成本
  • 延长正常运行时间
  • 智能的“自我调节”技术,实现稳定的真空性能

 

On-Board® IS 320FX 低温泵,专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发,可提高氢气抽送速度和容量,同时还能保持您对该低温泵所期待的质量、性能和可靠性优势。 

  • 专为离子注入应用而设计
  • 针对低温设备的处理能力进行了优化
  • 智能的“自我调节”技术
  • 更低拥有成本
  • 延长了正常运行时间

 

On-Board® IS XP 低温泵为 PVD 应用提供了更大的抽气容量,以实现出色的生产率,同时保持流程透明性。此外,它还充分利用了 On-Board® IS 久经考验的能效、一致的性能和低拥有成本,这正是您对它的期望。 

  • 该泵提供容量冗余,以用于将来的流程改进
  • 更低拥有成本
  • 延长正常运行时间
  • 智能的“自我调节”技术,实现稳定的真空性能

 

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