Mike Czerniak - IPCC 准则更新
视频和脚本
您好，我是 Mike Czerniak 教授。
我在 EDWARDS Vacuum 担任环境解决方案业务发展经理，也是布里斯托大学客座工业教授。
联合国 IPCC 是政府间气候变化专门委员会，他们向所有报告温室气体的政府和其他机构发布指南，以便每个人都以同样的方式进行汇报。这意味着您是在公平地比较同类事物，该委员会刚刚完成了新版本的制定并于去年发布出来。
它实际上考虑了行业的诸多变化，过去未曾使用的新气体现在获得使用。此外，还涉及一些新的科学领域。现在人们已经认识到，某些温室气体实际上可能是某些工艺产生的无用副产物，甚至来自某些气体处理系统。
EDWARDS 的产品包含气体处理系统，但通过合理设计，它们不会产生这些有害气体。
遗憾的是，其他设备在产生有害气体，因此误认为 EDWARDS 设备也是如此。除非您愿意通过适当的测试和认证来证明 EDWARDS 无辜，否则 EDWARDS 也无法幸免。
这对我们的整个行业触动很大，因为企业必须报告温室气体排放量，这促使人们采用优良做法，尽可能减少使用温室气体。但也要在废气排放到大气之前进行处理，因为其中一些气体可以在大气中存在数万年，它们的影响可能比二氧化碳高数万倍。
准则为何升级
这些经过改进的准则经过了升级，因为人们越来越认识到，在大气中测得的数据（我们称之为自上而下的数据）与据报道人类排放的数据（我们称之为自下而上的数据）之间存在着不匹配。
现已确定半导体制造过程中形成 PFC 的两种新机制，并在 IPCC 新版改进中针对以下物质增添了排放系数：
- 在燃料和处理室废液混合系统中，在燃烧减排环节氟与烃燃料反应生成的 CF4。
- 清洁化学气相沉积 (CVD) 处理室中的沉积物时生成的 CF4。
CF4 尤其令人担忧，因为它在大气中的寿命长达 50,000 年，甚至可能永远存在。
IPCC 网站是很好的信息资源，但您也可以在 EDWARDS 的网站上找到更多信息，包括气候变化的背景和半导体行业的背景。此外，它还涵盖了可以帮助您在排放这些气体之前减少排放的产品。
Mike Czerniak
环境解决方案业务发展经理
