工厂通过新能源效率计划减少碳足迹
半导体制造商在提高产量的同时努力减少温室气体 (GHG) 排放。包括电力、用水和工艺气体在内的能源消耗是整个供应链中的供应商和制造商采取措施减少碳排放的主要目标。
晶圆厂的功耗中有 20% 来自真空和减排工艺
挑战不在于设备,而在于建立可靠的流程,以便将“绿色模式”状态的起止时间从加工工具传递给真空系统。并非所有加工工具都具有此功能所需的“绿色模式”信号。
如果使系统保持在“生产模式”,会使昂贵的加工工具、晶片产品和人员安全面临不必要的高风险。
当加工工具处于空闲状态或维护期间,切换至更低的能耗,会尽可能地降低能源消耗和运营成本。
不必要的能耗和运营成本
公司制定的所有计划都必须经过独立验证、公布和审核。公司先要向“科学减碳目标倡议”等组织提交意向书。
接下来,公司要运用《温室气体议定书》中规定的会计原则来估算其自身的全球变暖气体排放量。这需要涵盖所有温室气体排放,不仅包括自己工厂的排放,还有供应商工厂的排放,以及客户工厂使用其产品所产生的排放。对于近期目标,他们需要确定至少 95% 的自身经营活动排放量和三分之二以上的供应商排放量,以及客户工厂使用其产品所产生的排放量。
整个晶圆厂的担忧
- 碳中和与节能目标
- 安全和维护团队的额外负担
- 运营费用增加
该晶圆厂需要一种可靠的方法来降低因辅助间操作而产生的环境影响和能源成本。
了解该客户如何实现二氧化碳当量 (kgs) 减排