代工厂通过消除辅助间的风险避免批量晶片损失

辅助间中的不确定性会给晶片产量和机台可用性带来风险。

代工厂的下一个增长阶段促使晶圆厂团队开始寻找新的创新渠道。制造链的所有领域都需要对晶圆厂产量做出更大贡献。他们的真空和减排系统经过多年的发展，掩盖了影响整个晶圆厂潜在绩效的隐变数。晶片处理过程中出现意外的真空系统故障是一个亟待解决的问题。半导体制造工艺的发展也对真空和减排设备提出了越来越高的要求。

晶圆厂停机时间

在批量处理过程中，泵“崩溃”会导致整个生产批次（多达 125 个晶片）报废，并可能因产品和流程停机造成巨大损失。即使在单晶片工艺中，意外的真空泵故障也会造成重大损失，因为工艺机台需要数小时甚至数天的时间来重新验证。

关键问题

新制造工艺对设备的需求不断增加
暂时性地解决维护量增加问题
辅助间间歇式熔炉的意外事件每年会造成超过 $836k 的损失

代工厂的辅助间监控系统无法提供有关真空设备故障情况的见解。他们曾经对关键工艺机台的真空泵实施了基于时间的维护机制，因此而中断了宝贵的生产计划，昂贵的工艺机台往往被过早停用或仅仅作为预防措施而停用。即使在维护周期缩短的情况下，泵仍会出现故障，从而导致机台停机和晶片损失。为了解决这些问题，代工厂与我们接洽，要求我们首先研究间歇式熔炉应用，因为即使是少量意外事件也会导致高价值风险