产量性能

EDWARDS 新发布的创新产品着眼于通过提高工艺稳定性、可靠性和效率来满足半导体行业的需求。Ganymede 提供的尖端解决方案可优化性能、减少停机时间并改善整体工艺成果。

优化工艺效率

Ganymede 专为支持半导体制造商的关键目标而设计，重点关注稳定性、可重复性和产量提高。通过延长平均保养间隔时间 (MTBS)、提高耐腐蚀性和加强工艺优化，确保工艺的长期一致性和可靠性。这有益于减少变异性，尽可能地降低计划外停机的风险，帮助保持运营效率。

主要特点：

• 稳定且可重复：Ganymede 可确保性能稳定，减少工艺变异性并降低中断的可能性，从而实现长期平稳运行

• 增强可靠性：Ganymede 采用更耐腐蚀和更耐用的设计，可应对半导体制造的严苛环境，确保在充满挑战的条件下发挥可靠的性能

• 提高产量和吞吐量：通过优化能耗和工艺参数，Ganymede 有助于提高产量和吞吐量，使工艺更高效、更具成本效益

• 采用便于保养的设计：Ganymede 的设计优先考虑了保养便利性，使维护更加快捷方便，从而减少停机时间，保持运行平稳。

应对关键挑战

半导体制造工艺经常面临与随着时间变化、计划外设备停机和根本原因分析有关的挑战。Ganymede 专为应对这些挑战而设计，提供了一种可靠的解决方案，可尽量减少变异性，并提高故障排除和高效解决问题的能力。这反过来又带来更稳定的性能和更高的整体生产率。

先进的设计还支持在多个生产场所实施标杆管理和分享良好实践，使制造商能够比较数据，并通过协作改善工艺成果。

Ganymede 能够提供数据驱动型见解，帮助制造商优化工艺，提高整体运营的绩效。

注重安全和可持续性

Ganymede 的泵系列在设计时充分考虑了安全性和可持续性。其优化设计的能耗减少多达 30%，有助于降低范围 2 排放和创造更可持续的生产环境。Ganymede 还减少了对保养干预的需要，降低了发生健康和安全事故的风险，同时尽可能地减少维护活动对环境的影响。

Ganymede 的耗水量减少、采用无 PFAS 技术以及无塑料、可重复使用的包装，进一步加强了其对环境责任的承诺。Ganymede 通过在设计中融入可持续发展特性，帮助半导体制造商在保持高性能和高效率的同时实现环保目标。

对未来创新的承诺

Ganymede 是因 EDWARDS Vacuum 投资未来半导体技术和为了应对不断变化的应用挑战而生的，代表着在提供创新解决方案以满足行业不断增长的需求方面向前迈进了一步。EDWARDS 的业务遍及全球，拥有丰富的专业知识来为半导体制造商提供支持，致力于提供推动该行业取得长期成功所需的技术和服务。

Ganymede 的设计目标包括支持行业追求更高的稳定性、可靠性和可持续性，是希望优化工艺和改善环境影响的制造商所需的关键解决方案。

在下方了解有关 Ganymede 的更多信息，以及它能如何帮助提高半导体制造工艺的效率、可靠性和可持续性。