空间性能

随着半导体行业的不断发展，工厂空间成本急剧上升，促使制造商在可用空间内尽可能地增加工具数量。传统上，辅助间设备应装在从厂房上方投射的工具占用空间内。这是一项挑战，因为真空泵的物理尺寸与其抽气能力直接相关，泵的外形减小与抽气能力和速度提高之间存在矛盾。

为了满足这些日益增长的需求，Ganymede 在设计上比传统泵小 30%，为希望在不降低性能的前提下节省空间的辅助间管理人员提供了一个突破性的解决方案。通过减少泵的占用空间，Ganymede 使制造商能够充分利用宝贵的厂房空间，在相同的空间内集成更多工具。

Ganymede 占用空间减小的主要优势：

• 提高产量：Ganymede 结构紧凑，有助于更高效地利用空间，在工厂内增加更多工具，从而提高产量和生产率

• 减少 CO2 排放：Ganymede 外形更小，性能更高，有助于降低能耗，帮助制造商减少碳足迹，实现可持续发展目标

• 维护效率高：尽管外形减小，但 Ganymede 的设计便于保养，可确保快速、安全地完成维护任务，而不会出现堆叠或紧凑型系统经常出现的复杂情况。

节省空间的优势

为了适应工具尺寸减小的情况，真空泵的占用空间必须缩小 20%-30%。Ganymede 直面这一挑战，提供的解决方案不仅节省空间，还能实现保持出色性能所需的抽气能力和速度。

对于寻求优化性能和空间利用的辅助间管理人员而言，Ganymede 提供了符合当今半导体制造环境要求的新一代解决方案。

了解 Ganymede 节省空间的优势，以及它能如何帮助您提高产量和减少 CO2 排放。