抽送水蒸汽
Polycold MaxCool 4000 H 低温深冷机可有效捕获高真空系统残余气体中占比达 65％ 至 95％ 的水蒸汽。
水蒸汽通常是存在的高活性污染物。借助 MaxCool 低温深冷机，您可以将现有系统的产品处理能力提高 20% 以上，并提高沉积质量。
MaxCool 的优势
- 高真空抽空时间缩减达 75%
- 水蒸气的高速抽取：工作区域内 10,000 至 220,000 l/s
- 产品处理能力提高 20% 以上
- 加工过程中水蒸汽分压越低，薄膜质量越高，附着力越好，沉积的重现性越好
- 在性价比方面优于采用液态氮冷却的 Meissner
- 通过电源管理降低使用成本
- 适用于多种流程的高容量冷却和加热
在将 MaxCool 低温深冷机添加到您的真空系统中后，它可显著减少抽空时间并提高产品处理能力。MaxCool 会在“启动”后的几分钟内抽出水蒸汽，并能够在不到四分钟的时间内除霜，从而实现真正的快速循环能力。它还有一个选项快速冷却转冷却，可消除除霜后的等待时间。对于您的系统而言，这意味着每个班次可以拥有更多的生产周期。
MaxCool 采用 Polycold® 混合制冷剂，并按照 Meissner 吸收原理工作。水蒸汽在被称为 Meissner 盘管的低温冷却表面上通过冷凝被捕获。Meissner（低温盘管）直接安装在真空腔中，因此导热性不受端口、歧管、阀门和挡板的限制。低温盘管易于安装，并且可以调整以适配任何系统。
它不需要配备高真空阀。
MaxCool 低温深冷机是很具成本效益的升级产品，您可以将其添加至任何使用扩散泵、涡轮泵或氦低温泵进行抽空的系统。
MaxCool 低温深冷机符合欧洲应用制冷剂 (EC 1005/2009)、《蒙特利尔协议》和美国 EPA SNAP 标准的规定。
优点
- -98 至 -133°C（183 至 140K）
- 除热功率达 4000 瓦
- 低温冷凝真空系统中的水蒸汽，速度达 220,000 l/s，真空水平达 5 x 10-8 torr (7 x 10-8 mbar)
- 理论抽速上限为 328,000 l/s
- 通过“快速冷却转为冷却”选项提高生产率
- 具有电源管理选项，可尽量降低拥有成本
- 温度控制
- 充注绿色制冷剂：符合全球标准，无毒且不易燃
- 基于 Polycold 成熟的、可靠的创新型混合气体制冷技术
- 符合欧盟 PED 和 MD 标准
- 通过 TUV Rheinland 认证，符合 NRTL/加拿大安全标准
- 通过 ISO 9001:2008 认证的制造商
