MicroTIM 为 EDWARDS 干式泵提供 EtherCAT 接口。
有关安装和操作接口的详细信息，请参阅产品随附的说明手册。
低真空泵 |
变更描述 |
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| ESI 文件名 | D37363610H.XML | 更新以添加 0x100B 制造商引导装载程序版本。更新 CTT 2.1.0。 |
| 兼容的 MicroTIM 固件 | D37363605D | |
| 通用设备配置文件 | ETG5003-1 | |
| CDP 功能生成号 | 2 | |
| 特定设备配置文件 | ETG5003-2050 | |
| SDP 功能生成号 | 2 | |
| 发布日期 | 2017 年 3 月 30 日 | |
- Roughing Pump 8.3 kB, ZIP