EtherCAT® 接口 – 粗抽真空泵

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MicroTIM 为 EDWARDS 干式泵提供 EtherCAT 接口。

有关安装和操作接口的详细信息，请参阅产品随附的说明手册。

低真空泵 EtherCAT MicroTIM D37363000		变更描述
ESI 文件名	Edwards 低真空泵 .xml	针对下一代干泵进行了优化，可提高性能和效率。增加了 iXL200 双核泵的功能。
兼容的 MicroTIM 固件	D37363605E
通用设备配置文件	ETG5003-1
CDP 功能生成号	2
特定设备配置文件	ETG5003-2050
SDP 功能生成号	2
发布日期	2025年9月4日